Højpræcisionssensor hjælper halvlederpræcisionsproduktion
Hovedbeskrivelse
Lanbaos højpræcisions laserafstandssensor og forskydningssensor, spektral konfokal sensor og 3D laserscanningssensor kan levere tilpassede tjenester og diversificerede præcisionsmålingsløsninger til halvlederindustrien.
Ansøgningsbeskrivelse
Lanbaos synssensor, kraftsensor, fotoelektrisk sensor, nærhedssensor, forhindringsforståelsessensor, områdelysgardinsensor osv. kan give den nødvendige information til mobile robotter og industrirobotter til korrekt at udføre relevante operationer, såsom sporing, positionering, forhindringsundgåelse og justering handlinger.
Underkategorier
Indhold af prospektet
Fotoresist Coater
Højpræcisions laserforskydningssensor registrerer fotoresistbelægningens højde for at opretholde en stabil belægningsnøjagtighed.
Terningmaskine
Tykkelsen af skærebladet er kun snesevis af mikrometer, og detektionsnøjagtigheden af laserforskydningssensoren med høj præcision kan nå 5um, så bladets tykkelse kan måles ved at installere 2 sensorer ansigt til ansigt, hvilket kan reducere vedligeholdelsestiden meget.
Wafer inspektion
Udstyr til inspektion af wafers udseende er påkrævet til kvalitetsinspektion under wafer-batchproduktion. Dette udstyr er afhængig af synsinspektionen af laserforskydningssensor med høj præcision for at realisere fokusjustering.