Halbleiterausrüstungsindustrie

Hochpräziser Sensor unterstützt die Halbleiter-Präzisionsproduktion

Hauptbeschreibung

Der hochpräzise Laser-Entfernungssensor und Verschiebungssensor, der spektrale konfokale Sensor und der 3D-Laserscanning-Sensor von Lanbao können maßgeschneiderte Dienstleistungen und vielfältige Präzisionsmesslösungen für die Halbleiterindustrie bereitstellen.

Halbleiterausrüstungsindustrie2

Anwendungsbeschreibung

Der Vision-Sensor, der Kraftsensor, der fotoelektrische Sensor, der Näherungssensor, der Hindernisvermeidungssensor, der Bereichslichtvorhangsensor usw. von Lanbao können mobile Roboter und Industrieroboter mit den notwendigen Informationen versorgen, um relevante Vorgänge wie Verfolgung, Positionierung, Hindernisvermeidung und Anpassung korrekt auszuführen Aktionen.

Unterkategorien

Inhalt des Prospekts

Halbleiterausrüstungsindustrie3

Fotolackbeschichter

Der hochpräzise Laser-Verschiebungssensor erkennt die Höhe der Fotolackbeschichtung, um eine stabile Beschichtungsgenauigkeit aufrechtzuerhalten.

Halbleiterausrüstungsindustrie4

Würfelmaschine

Die Dicke des Schneidmessers beträgt nur einige zehn Mikrometer, und die Erkennungsgenauigkeit des hochpräzisen Laser-Wegsensors kann 5 µm erreichen, sodass die Klingendicke durch die Installation von zwei Sensoren gegenüber einander gemessen werden kann, was die Wartungszeit erheblich verkürzen kann.

Halbleiterausrüstungsindustrie5

Wafer-Inspektion

Für die Qualitätsprüfung während der Wafer-Chargenproduktion sind Geräte zur Prüfung des Aussehens von Wafern erforderlich. Dieses Gerät basiert auf der visuellen Inspektion eines hochpräzisen Laser-Verschiebungssensors, um die Fokuseinstellung zu realisieren.