Industria de equipos semiconductores

Un sensor de alta precisión ayuda a la producción de precisión de semiconductores

Descripción principal

El sensor de alcance láser de alta precisión y el sensor de desplazamiento, el sensor confocal espectral y el sensor de escaneo láser 3D de Lanbao pueden proporcionar servicios personalizados y soluciones diversificadas de medición de precisión para la industria de semiconductores.

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Descripción de la aplicación

El sensor de visión, el sensor de fuerza, el sensor fotoeléctrico, el sensor de proximidad, el sensor para evitar obstáculos, el sensor de cortina de luz de área, etc. de Lanbao pueden proporcionar la información necesaria para que los robots móviles y los robots industriales realicen correctamente operaciones relevantes, como seguimiento, posicionamiento, evitación de obstáculos y ajuste. comportamiento.

Subcategorías

Contenido del folleto

Industria de equipos semiconductores3

Recubridor fotorresistente

El sensor de desplazamiento láser de alta precisión detecta la altura del recubrimiento fotorresistente para mantener una precisión estable del recubrimiento.

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Máquina para cortar cubitos

El espesor de la hoja de corte es de solo decenas de micrones y la precisión de detección del sensor de desplazamiento láser de alta precisión puede alcanzar 5 um, por lo que el espesor de la hoja se puede medir instalando 2 sensores uno frente al otro, lo que puede reducir mucho el tiempo de mantenimiento.

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Inspección de obleas

Se requiere equipo de inspección de la apariencia de las obleas para la inspección de calidad durante la producción por lotes de obleas. Este equipo se basa en la inspección visual de un sensor de desplazamiento láser de alta precisión para realizar el ajuste del enfoque.