La fabrication de semi-conducteurs figure parmi les domaines les plus exigeants en termes de précision et les plus complexes sur le plan technologique de l'industrie de pointe actuelle. À mesure que les procédés de fabrication des puces progressent vers des nœuds de 3 nm, voire plus petits, la précision des mesures d'épaisseur de plaquette, de planéité de surface et de dimensions microstructurales détermine directement le rendement et les performances des puces. Dans ce contexte, les capteurs de déplacement laser, grâce à leur fonctionnement sans contact, leur précision supérieure, leurs temps de réponse plus rapides et leur stabilité accrue, sont devenus des outils de mesure indispensables tout au long du processus de fabrication des semi-conducteurs.
Élément fondamental de la fabrication des semi-conducteurs, les plaquettes de silicium exigent une précision et une fiabilité extrêmes lors de leur production. Parmi les nombreuses étapes critiques de leur fabrication, la mesure précise des déplacements est primordiale : elle influe directement sur les performances et le rendement de la puce finale. Leader de l'innovation dans le secteur des capteurs industriels en Chine, Lansensor propose la série PDE de capteurs de déplacement laser, qui se distingue par sa résolution micrométrique, ses algorithmes intelligents et sa fiabilité de niveau industriel, et s'impose comme la solution de choix pour les procédés de fabrication de plaquettes de silicium.
Défis liés à la précision dans la fabrication de plaquettes et avantages des capteurs de déplacement laser
La fabrication de plaquettes de silicium comprend une série de procédés complexes tels que la photolithographie, la gravure, le dépôt de couches minces et le collage, chacun exigeant une précision rigoureuse de l'ordre du micromètre, voire du nanomètre. Par exemple :
-
En photolithographie, un alignement précis entre le photomask et la plaquette est essentiel pour garantir un transfert précis du motif sur la surface de la plaquette.
-
Lors du dépôt de couches minces, un contrôle précis de l'épaisseur du film est essentiel pour garantir les performances électriques des dispositifs.
Le moindre écart peut entraîner des défauts de fabrication, voire rendre inutilisable un lot entier de plaquettes.
Les méthodes de mesure mécaniques traditionnelles sont souvent insuffisantes pour répondre à de telles exigences de haute précision. De plus, elles risquent d'endommager ou de contaminer la surface fragile de la plaquette, tandis que leur lenteur les rend inadaptées aux exigences de la métrologie de pointe.
LanbaocapteurCapteurs de déplacement laser série PDELa solution optimale pour les applications sur plaquettes
◆Mesure laser sans contact
Utilise la projection d'un faisceau laser sur les surfaces cibles, analysant les signaux réfléchis/diffusés pour obtenir des données de déplacement - éliminant le contact physique avec les plaquettes pour éviter les dommages mécaniques et les risques de contamination.
◆Précision au micron
La technologie laser avancée et les algorithmes de traitement du signal offrent une précision et une résolution de mesure à l'échelle micrométrique, répondant aux exigences de précision extrême des processus de fabrication de plaquettes.
◆Réponse ultra-rapide (<10 ms)
Permet une surveillance en temps réel des variations dynamiques de la production, permettant une détection et une correction immédiates des écarts afin d'améliorer l'efficacité de la fabrication.
◆Compatibilité exceptionnelle des matériaux
Capable de mesurer divers matériaux et types de surfaces avec une forte adaptabilité environnementale, convenant à de multiples étapes de traitement des semi-conducteurs.
◆Conception industrielle compacte
Son format compact facilite une intégration transparente dans les équipements automatisés et les systèmes de contrôle, permettant une surveillance intelligente des processus et un réglage en boucle fermée.
Scénarios d'application deCapteurs de déplacement laser série PDEdans le traitement des plaquettes
Capteur LanbaoCapteurs de déplacement laser série PDEApplications critiques dans la fabrication de plaquettes
Grâce à leurs performances exceptionnelles, les capteurs de déplacement laser Lansensor PDE jouent un rôle essentiel dans de nombreux processus de fabrication de plaquettes :
◆Alignement et positionnement des plaquettes
Pour les procédés de photolithographie et de collage nécessitant une précision au micron près, nos capteurs mesurent avec précision la position et l'inclinaison de la plaquette afin de garantir un alignement parfait du masque sur la plaquette et un positionnement optimal du bras de collage, améliorant ainsi la précision du transfert de motifs.
◆Métrologie de l'épaisseur des plaquettes
Permet la mesure d'épaisseur sans contact avec une surveillance en temps réel pendant les processus de dépôt, assurant un contrôle optimal de la qualité des couches minces.
◆Inspection de la planéité des plaquettes
Détection des déformations de surface et des gauchissements des plaquettes avec une résolution submicronique afin d'empêcher la progression des plaquettes défectueuses en aval.
◆Surveillance de l'épaisseur des couches minces
Assurer le suivi en temps réel de l'épaisseur de dépôt pendant les procédés CVD/PVD afin de maintenir des spécifications de performance électrique strictes.
◆Détection des défauts de surface
Identification des anomalies de surface à l'échelle du micron (rayures, particules) grâce à une cartographie des déplacements à haute résolution, améliorant considérablement les taux de détection des défauts.
◆Surveillance de l'état des équipements
Suivi des déplacements des composants critiques (bras robotisés, mouvements de la plateforme) et des vibrations de la machine pour la maintenance prédictive et l'optimisation de la stabilité.
La série PDE de capteurs Lanbao comble non seulement les lacunes technologiques critiques du marché chinois des capteurs industriels haut de gamme, mais établit également de nouvelles références mondiales grâce à ses performances exceptionnelles. Qu'il s'agisse d'améliorer les rendements, de réduire les coûts de production ou d'accélérer le développement des procédés de nouvelle génération, la série PDE est votre atout ultime pour relever les défis de la fabrication de semi-conducteurs de précision !
Date de publication : 8 mai 2025