Un capteur de haute précision au service de la production de précision des semi-conducteurs
Description principale
Les capteurs de télémétrie laser et de déplacement haute précision, les capteurs confocaux spectraux et les capteurs de balayage laser 3D de Lanbao peuvent fournir des services personnalisés et des solutions de mesure de précision diversifiées pour l'industrie des semi-conducteurs.
Description de l'application
Les capteurs de vision, de force, photoélectriques, de proximité, d'évitement d'obstacles, de barrière lumineuse, etc. de Lanbao peuvent fournir les informations nécessaires aux robots mobiles et industriels pour effectuer correctement les opérations pertinentes, telles que le suivi, le positionnement, l'évitement d'obstacles et les actions d'ajustement.
Sous-catégories
Contenu du prospectus
Revêtement de photorésine
Un capteur de déplacement laser de haute précision détecte la hauteur du revêtement de photorésine afin de maintenir une précision de revêtement stable.
Machine à découper
L'épaisseur de la lame de coupe n'est que de quelques dizaines de microns, et la précision de détection du capteur de déplacement laser de haute précision peut atteindre 5 µm ; l'épaisseur de la lame peut donc être mesurée en installant 2 capteurs face à face, ce qui permet de réduire considérablement le temps de maintenance.
Inspection des plaquettes
Un équipement d'inspection de l'aspect des plaquettes est nécessaire pour le contrôle qualité lors de la production par lots. Cet équipement utilise l'inspection visuelle d'un capteur de déplacement laser de haute précision pour effectuer le réglage de la mise au point.