સેમિકન્ડક્ટર સાધન ઉદ્યોગ

કટીંગ બ્લેડની જાડાઈ ફક્ત દસ માઇક્રોન છે, અને ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા લેસર ડિસ્પ્લેસમેન્ટ સેન્સરની તપાસની ચોકસાઈ 5um સુધી પહોંચી શકે છે, તેથી બ્લેડની જાડાઈ 2 સેન્સર રૂબરૂ સ્થાપિત કરીને માપી શકાય છે, જે જાળવણીનો સમય ઘણો ઘટાડો કરી શકે છે.

વેફર બેચના ઉત્પાદન દરમિયાન ગુણવત્તાયુક્ત નિરીક્ષણ માટે વેફર દેખાવ નિરીક્ષણ સાધનો જરૂરી છે. આ ઉપકરણો ફોકસ એડજસ્ટમેન્ટની અનુભૂતિ માટે ઉચ્ચ-ચોકસાઇ લેસર ડિસ્પ્લેસમેન્ટ સેન્સરની દ્રષ્ટિ નિરીક્ષણ પર આધાર રાખે છે.