Industrija poluvodičke opreme

Senzor visoke preciznosti pomaže u preciznoj proizvodnji poluvodiča

Glavni opis

Lanbao visoko precizni laserski senzor za domet i senzor pomaka, spektralni konfokalni senzor i 3D laserski senzor za skeniranje mogu pružiti prilagođene usluge i raznolika rješenja preciznih mjerenja za industriju poluvodiča.

Industrija poluvodičke opreme2

Opis aplikacije

Lanbaov senzor vida, senzor sile, fotoelektrični senzor, senzor blizine, senzor izbjegavanja prepreka, senzor svjetlosnih zavjesa itd. mogu pružiti potrebne informacije mobilnim robotima i industrijskim robotima za ispravno obavljanje relevantnih operacija, kao što su praćenje, pozicioniranje, izbjegavanje prepreka i podešavanje akcije.

Potkategorije

Sadržaj prospekta

Industrija poluvodičke opreme3

Fotorezist Coater

Laserski senzor pomaka visoke preciznosti detektira visinu premaza fotorezista kako bi održao stabilnu točnost premaza.

Industrija poluvodičke opreme4

Stroj za rezanje kockica

Debljina oštrice za rezanje je samo nekoliko desetaka mikrona, a točnost detekcije visokopreciznog laserskog senzora pomaka može doseći 5 um, tako da se debljina oštrice može mjeriti instaliranjem 2 senzora licem u lice, što može znatno smanjiti vrijeme održavanja.

Industrija poluvodičke opreme5

Inspekcija napolitanki

Oprema za pregled izgleda vafla potrebna je za kontrolu kvalitete tijekom proizvodnje serije vafla. Ova se oprema oslanja na vidnu inspekciju visokopreciznog laserskog senzora pomaka za postizanje podešavanja fokusa.