Il sensore ad alta precisione assiste la produzione di precisione a semiconduttore
Descrizione principale
Il sensore di spostamento e il sensore confocale spettrale e il sensore confocale spettrale e il sensore di scansione del laser 3D possono fornire servizi personalizzati e soluzioni di misurazione di precisione personalizzate e soluzioni di misurazione di precisione diversificate per l'industria dei semiconduttori.
Descrizione dell'applicazione
Il sensore di visione di Lanbao, il sensore di forza, il sensore fotoelettrico, il sensore di prossimità, il sensore di evitamento degli ostacoli, il sensore della tenda leggera di area, ecc. Possono fornire informazioni necessarie per i robot mobili e i robot industriali per eseguire correttamente le operazioni pertinenti, come il monitoraggio, il posizionamento, il posizionamento degli ostacoli e la regolazione azioni.
Sottocategorie
Contenuto del prospetto
Coater fotoresist
Il sensore di spostamento laser ad alta precisione rileva l'altezza del rivestimento fotoresist per mantenere l'accuratezza del rivestimento stabile.
Macchina da taglio
Lo spessore della lama di taglio è solo decine di micron e l'accuratezza del rilevamento del sensore di spostamento laser ad alta precisione può raggiungere il 5UM, quindi lo spessore della lama può essere misurato installando 2 sensori faccia a faccia, il che può ridurre molto i tempi di manutenzione.
Ispezione del wafer
Le apparecchiature di ispezione dell'aspetto del wafer sono necessarie per l'ispezione di qualità durante la produzione di lotti di wafer. Questa attrezzatura si basa sull'ispezione della visione del sensore di spostamento laser ad alta precisione per realizzare la regolazione della messa a fuoco.