工業生産の急速に進んでいる状況では、製品表面の平坦性は製品品質の重要な指標です。平坦性の検出は、自動車製造、航空宇宙、電子機器など、さまざまな業界で広く使用されています。例には、自動車業界におけるバッテリーまたは携帯電話ハウジングの平坦性検査、および半導体業界のLCDパネルの平坦性検査が含まれます。
ただし、従来の平坦性検出方法は、効率の低さや精度が低いなどの問題に悩まされています。対照的に、LVDT（線形可変微分変圧器）センサーは、高精度、高い信頼性、摩擦のない測定の利点を備えています（例：LVDTはプローブを使用してオブジェクト表面に接触し、コア変位を促進して摩擦のない高処理を実現します測定）は、現在、最新のオブジェクトの平坦度検出で広く使用されています。
運用原則：
摩擦のない測定：通常、可動コアとコイル構造の間に物理的な接触はありません。つまり、LVDTは摩擦のないデバイスであることを意味します。これは、摩擦荷重に耐えられない重要な測定での使用を許可します。
無制限の機械的生活：通常、LVDTのコア構造とコイル構造の間に接触がないため、部品をこすりつけたり摩耗させたりすることはできず、LVDTSに本質的に無制限の機械的寿命を与えます。これは、高解放性アプリケーションで特に重要です。
無限の解像度：LVDTは、摩擦のない構造の電磁結合原理で動作するため、コア位置の無限に小さな変化を測定できます。解像度の唯一の制限は、信号コンディショナーのノイズと出力表示の解像度です。
Null Pointの再現性：LVDTの固有のヌルポイントの位置は、非常に広い動作温度範囲にわたって、非常に安定して繰り返し可能です。これにより、LVDTは閉ループ制御システムのヌル位置センサーとしてうまく機能します。
クロス軸の拒絶：LVDTは、コアの軸方向の動きに非常に敏感であり、放射状の動きに比較的鈍感です。これにより、LVDTは正確な直線で動いていないコアを測定するために使用できます。
高速の動的応答：通常の操作中に摩擦がないため、LVDTはコア位置の変化に非常に速く応答することができます。LVDTセンサー自体の動的応答は、コアのわずかな質量の慣性効果によってのみ制限されます。
絶対出力：LVDT出力は、位置に直接関連するアナログ信号です。停電が発生した場合、再調整せずに測定を再開できます（停電後に現在の変位値を取得するには、電力を戻す必要があります）。
- ワーク表面の平坦度検出：ワークの表面にLVDTプローブを使用して接触することにより、表面の高さの変動を測定して、その平坦性を評価できます。
- 板金の平坦度検出：板金の生産中、自動化されたスキャンメカニズムと組み合わせた配列LVDTレイアウトは、大規模なシートの全面フラットネスマッピングを実現できます。
- ウェーハの平坦さの検出：半導体業界では、ウェーハの平坦性がチップのパフォーマンスに大きな影響を与えます。 LVDTは、ウェーハ表面の平坦性を正確に測定するために使用できます。 （注：ウェーハの平坦度検出では、LVDTに軽量プローブと低い接触力設計を装備する必要があり、表面への損傷が許可されていないシナリオに適しています。）
- マイクロメーターレベルの再現性
- 5-20mmで利用可能な複数の範囲
- デジタル信号、アナログ、485を含む包括的な出力オプション。
- 3Nセンシングヘッド圧力が低い、両方の金属ガラス表面での非推測的な検出が可能です。
- さまざまなアプリケーションスペースを満たすための豊富な外部寸法。
- 選択ガイド
| タイプ | 部品名 | モデル | 鳴った | 直線性 | 再現性 | 出力 | 保護グレード |
| 組み合わせたプローブタイプ | 増幅器 | LVA-ESJBI4D1M | / | / | / | 4-20MA電流、デジタル出力の3つの方法 | IP40 |
| センシングプローブ | LVR-VM15R01 | 0-15mm | ±0.2％fs （25 ℃） | 8μm（25 ℃） | / | IP65 | |
| LVR-VM10R01 | 0-10mm | ||||||
| LVR-VM5R01 | 0-5mm | ||||||
| 統合タイプ | 統合センシングPRBE | LVR-VM20R01 | 0-20mm | ±0.25％FS （25 ℃） | 8μm（25 ℃） | RS485 | |
| LVR-VM15R01 | 0-15mm | ||||||
| LVR-VM10R01 | 0-10mm | ||||||
| LVR-VM5R01 | 0-5mm | ||||||
| LVR-SVM10DR01 | 0-10mm |
投稿時間：2月11日 - 2025年