高精度センサーが半導体の精密生産を支援
主な説明
Lanbao の高精度レーザー測距センサーと変位センサー、スペクトル共焦点センサー、3D レーザースキャンセンサーは、半導体業界向けにカスタマイズされたサービスと多様な精密測定ソリューションを提供できます。
アプリケーションの説明
Lanbao のビジョンセンサー、力センサー、光電センサー、近接センサー、障害物回避センサー、エリアライトカーテンセンサーなどは、移動ロボットや産業用ロボットが追跡、位置決め、障害物回避、動作調整などの関連操作を正しく実行するために必要な情報を提供できます。
サブカテゴリ
目論見書の内容
フォトレジストコーター
高精度レーザー変位センサーがフォトレジストのコーティング高さを検出し、安定したコーティング精度を維持します。
ダイシングマシン
切断刃の厚さはわずか数十ミクロンであり、高精度レーザー変位センサーの検出精度は5μmに達するため、2つのセンサーを向かい合わせて設置することで刃の厚さを測定でき、メンテナンス時間を大幅に短縮できます。
ウェーハ検査
ウェハのバッチ生産における品質検査には、ウェハ外観検査装置が不可欠です。この装置は、高精度レーザー変位センサーによる画像検査によって焦点調整を実現しています。