ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರ ಸಂವೇದಕವು ಅರೆವಾಹಕ ನಿಖರ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ
ಮುಖ್ಯ ವಿವರಣೆ
ಲ್ಯಾನ್ಬಾವೊದ ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರ ಲೇಸರ್ ಶ್ರೇಣಿಯ ಸಂವೇದಕ ಮತ್ತು ಸ್ಥಳಾಂತರ ಸಂವೇದಕ, ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರಲ್ ಕಾನ್ಫೋಕಲ್ ಸೆನ್ಸರ್ ಮತ್ತು 3 ಡಿ ಲೇಸರ್ ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ಸೆನ್ಸಾರ್ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮಕ್ಕೆ ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ಸೇವೆಗಳು ಮತ್ತು ವೈವಿಧ್ಯಮಯ ನಿಖರ ಮಾಪನ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.
ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ವಿವರಣೆ
ಲ್ಯಾನ್ಬಾವೊನ ದೃಷ್ಟಿ ಸಂವೇದಕ, ಫೋರ್ಸ್ ಸೆನ್ಸಾರ್, ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುತ್ ಸಂವೇದಕ, ಸಾಮೀಪ್ಯ ಸಂವೇದಕ, ಅಡಚಣೆ ತಪ್ಪಿಸುವ ಸಂವೇದಕ, ಪ್ರದೇಶದ ಬೆಳಕಿನ ಪರದೆ ಸಂವೇದಕ ಇತ್ಯಾದಿಗಳು ಮೊಬೈಲ್ ರೋಬೋಟ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಕೈಗಾರಿಕಾ ರೋಬೋಟ್‌ಗಳಿಗೆ ಟ್ರ್ಯಾಕಿಂಗ್, ಸ್ಥಾನೀಕರಣ, ಅಡಚಣೆ ತಪ್ಪಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ಕ್ರಮಗಳಂತಹ ಸಂಬಂಧಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳನ್ನು ಸರಿಯಾಗಿ ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಅಗತ್ಯವಾದ ಮಾಹಿತಿಯನ್ನು ಒದಗಿಸಬಹುದು.
ಉಪವರ್ಗಗಳು
ಪ್ರಾಸ್ಪೆಕ್ಟಸ್‌ನ ವಿಷಯ
ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಕೋಯಿಟರ್
ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರ ಲೇಸರ್ ಸ್ಥಳಾಂತರ ಸಂವೇದಕವು ಸ್ಥಿರ ಲೇಪನ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಲೇಪನ ಎತ್ತರವನ್ನು ಪತ್ತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಡೈಸಿಂಗ್ ಯಂತ್ರ
ಕತ್ತರಿಸುವ ಬ್ಲೇಡ್‌ನ ದಪ್ಪವು ಕೇವಲ ಹತ್ತಾರು ಮೈಕ್ರಾನ್‌ಗಳು, ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರ ಲೇಸರ್ ಸ್ಥಳಾಂತರ ಸಂವೇದಕದ ಪತ್ತೆ ನಿಖರತೆಯು 5um ತಲುಪಬಹುದು, ಆದ್ದರಿಂದ 2 ಸಂವೇದಕಗಳನ್ನು ಮುಖಾಮುಖಿಯಾಗಿ ಸ್ಥಾಪಿಸುವ ಮೂಲಕ ಬ್ಲೇಡ್ ದಪ್ಪವನ್ನು ಅಳೆಯಬಹುದು, ಇದು ನಿರ್ವಹಣಾ ಸಮಯವನ್ನು ಸಾಕಷ್ಟು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ವೇಶ್ಯೆ ಪರಿಶೀಲನೆ
ವೇಫರ್ ಬ್ಯಾಚ್ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಗುಣಮಟ್ಟದ ತಪಾಸಣೆಗಾಗಿ ವೇಫರ್ ಗೋಚರ ತಪಾಸಣೆ ಉಪಕರಣಗಳು ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಫೋಕಸ್ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಲು ಈ ಉಪಕರಣವು ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರ ಲೇಸರ್ ಸ್ಥಳಾಂತರ ಸಂವೇದಕದ ದೃಷ್ಟಿ ಪರಿಶೀಲನೆಯನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿದೆ.