Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн салбарт чипийг хэвийн бус овоолох нь үйлдвэрлэлийн ноцтой асуудал юм. Үйлдвэрлэлийн явцад чипсийг гэнэт овоолох нь тоног төхөөрөмжийн эвдрэл, үйл явцын доголдолд хүргэж, мөн бүтээгдэхүүнийг бөөнөөр нь хаяхаас гадна аж ахуйн нэгжүүдэд эдийн засгийн ихээхэн хохирол учруулж болзошгүй юм.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн процессыг тасралтгүй сайжруулснаар үйлдвэрлэлийн явцад чанарын хяналтад илүү өндөр шаардлага тавьдаг. Лазер нүүлгэн шилжүүлэх мэдрэгч нь контактгүй, өндөр нарийвчлалтай хэмжих технологийн хувьд хурдан бөгөөд үнэн зөв илрүүлэх чадвараараа чипний овоолгын хэвийн бус байдлыг илрүүлэх үр дүнтэй шийдлийг өгдөг.
Илрүүлэх зарчим ба гажиг шүүлтийн логик
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн процесст чипсийг ихэвчлэн нэг давхарга, хавтгай хэлбэрээр тээвэрлэгч эсвэл тээврийн зам дээр байрлуулдаг. Энэ үед чипийн гадаргуугийн өндөр нь ерөнхийдөө чипийн зузаан ба зөөгч өндрийн нийлбэр болох урьдчилан тогтоосон суурь утга юм. Чипсийг санамсаргүйгээр овоолсон тохиолдолд гадаргуугийн өндөр нь мэдэгдэхүйц нэмэгдэх болно. Энэхүү өөрчлөлт нь овоолгын хэвийн бус байдлыг илрүүлэхэд чухал үндэслэл болдог.
Тээврийн замын овоолгыг илрүүлэх
Тээврийн замууд нь үйлдвэрлэлийн процессын явцад чипийг хөдөлгөх чухал суваг юм. Гэсэн хэдий ч цахилгаан статик шингээлт эсвэл тээвэрлэлтийн явцад механик гэмтлээс болж чипс нь зам дээр хуримтлагдаж, зам бөглөрөхөд хүргэдэг. Ийм бөглөрөл нь зөвхөн үйлдвэрлэлийн урсгалыг тасалдуулахаас гадна чипийг гэмтээж болно.
Тээврийн замын саадгүй урсгалыг хянахын тулд замын хөндлөн огтлолын өндрийг сканнердахын тулд лазерын шилжилтийн мэдрэгчийг замын дээгүүр байрлуулж болно. Хэрэв нутагшуулсан талбайн өндөр нь хэвийн бус байвал (жишээлбэл, нэг давхаргын чипсийн зузаанаас өндөр эсвэл бага) мэдрэгчүүд үүнийг овоолсон бөглөрөл гэж тодорхойлж, дохиоллын механизмыг ажиллуулж, цаг тухайд нь зохицуулах талаар операторуудад мэдэгдэж, үйлдвэрлэлийн жигд урсгалыг хангана.
Илрүүлэх үйл явц
Ланбао лазерын шилжилтийн мэдрэгч нь лазер туяа цацруулж, туссан дохиог хүлээн авч, гурвалжингийн аргыг ашиглан зорилтот гадаргуугийн өндрийг нарийн хэмждэг.
Мэдрэгч нь чип илрүүлэх хэсэгтэй босоо тэнхлэгт байрлаж, тасралтгүй лазер цацруулж, туссан дохиог хүлээн авдаг. Чип тээвэрлэх явцад мэдрэгч нь гадаргуугийн өндрийн мэдээллийг бодит цаг хугацаанд олж авах боломжтой.
Мэдрэгч нь олж авсан туссан дохионоос чипийн гадаргуугийн өндрийн утгыг тооцоолох дотоод алгоритмыг ашигладаг. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн шугамын өндөр хурдны дамжуулалтын шаардлагыг хангахын тулд мэдрэгч нь өндөр нарийвчлалтай, өндөр түүвэрлэлтийн давтамжтай байх шаардлагатай.
Зөвшөөрөгдөх өндрийн өөрчлөлтийн мужийг тогтоосон бөгөөд энэ нь үндсэн өндрөөс ихэвчлэн ±30 μм байна. Хэрэв хэмжсэн утга нь энэ босго хязгаараас давсан бол энэ нь овоолгын хэвийн бус байдал гэж тодорхойлогддог. Энэхүү босго тодорхойлох логик нь ердийн нэг давхаргат чип болон давхарласан чипийг үр дүнтэйгээр ялгаж чаддаг.
Овоолгын хэвийн бус байдлыг илрүүлсний дараа мэдрэгч нь дуут болон харааны дохиолол өгч, хэвийн бус байрлалыг арилгахын тулд робот гарыг нэгэн зэрэг идэвхжүүлж, эсвэл нөхцөл байдлыг улам дордуулахаас сэргийлж үйлдвэрлэлийн шугамыг түр зогсооно. Энэхүү хурдан хариу арга хэмжээ нь овоолсон хэвийн бус байдлаас үүсэх алдагдлыг хамгийн их хэмжээгээр бууруулдаг.
Лазер нүүлгэн шилжүүлэх мэдрэгч ашиглан чип овоолгын хэвийн бус байдлыг бодит цаг хугацаанд өндөр нарийвчлалтайгаар илрүүлэх нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн шугамын найдвартай байдал, бүтээмжийг эрс сайжруулдаг. Технологийн тасралтгүй дэвшлийн ачаар лазерын шилжилтийн мэдрэгч нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд илүү их үүрэг гүйцэтгэж, салбарын тогтвортой хөгжилд хүчтэй дэмжлэг үзүүлэх болно.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 3-р сарын 25