Fis-settur tal-manifattura tas-semikondutturi, l-istivar anormali taċ-ċippa hija kwistjoni ta 'produzzjoni severa. L-istivar mhux mistenni ta 'ċipep matul il-proċess tal-manifattura jista' jwassal għal ħsara fit-tagħmir u fallimenti tal-proċess, u jista 'jirriżulta wkoll fl-iskart tal-massa tal-prodotti, li jikkawża telf ekonomiku sinifikanti għall-intrapriżi.
Bir-raffinar kontinwu tal-proċessi tal-manifattura tas-semikondutturi, jitpoġġew talbiet ogħla fuq il-kontroll tal-kwalità waqt il-produzzjoni. Sensers ta 'spostament bil-lejżer, bħala teknoloġija ta' kejl ta 'preċiżjoni għolja, mingħajr kuntatt, jipprovdu soluzzjoni effettiva għall-iskoperta ta' anormalitajiet ta 'stivar ta' ċippa bil-kapaċitajiet ta 'skoperta rapidi u preċiżi tagħhom.
Prinċipju ta 'skoperta u loġika ta' ġudizzju ta 'anomalija
Fil-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi, iċ-ċipep huma tipikament imqiegħda fuq trasportaturi jew binarji tat-trasport f'arranġament ċatt b'saff wieħed. F'dan iż-żmien, l-għoli tal-wiċċ taċ-ċippa huwa valur bażi ssettjat minn qabel, ġeneralment is-somma tal-ħxuna taċ-ċippa u l-għoli tal-ġarr. Meta ċ-ċipep huma aċċidentalment f'munzelli, l-għoli tal-wiċċ tagħhom jiżdied b'mod sinifikanti. Din il-bidla tipprovdi bażi kruċjali għall-iskoperta ta 'anormalitajiet ta' stivar.
Sejbien tal-istivar tal-binarji tat-trasport
Il-binarji tat-trasport huma kanali kritiċi għall-moviment taċ-ċippa matul il-proċess tal-manifattura. Madankollu, ċipep jistgħu jakkumulaw fuq il-binarji minħabba adsorbiment elettrostatiku jew fallimenti mekkaniċi waqt it-trasport, li jwassal għal imblukkar tal-binarji. Tali imblukkar jistgħu mhux biss jinterrompu l-fluss tal-produzzjoni iżda wkoll jagħmlu ħsara lill-laqx.
Biex tissorvelja l-fluss mhux imxekkel ta 'binarji tat-trasport, is-sensuri tal-ispostament bil-lejżer jistgħu jiġu skjerati' l fuq mill-binarji biex tiskennja l-għoli tas-sezzjoni trasversali tal-binarji. Jekk l-għoli ta 'żona lokalizzata huwa anormali (eż., Ogħla jew inqas mill-ħxuna ta' saff wieħed ta 'ċipep), is-sensuri jiddeterminawh bħala imblukkar tal-istivar u jikkawżaw mekkaniżmu ta' allarm biex jinnotifika lill-operaturi għall-immaniġġjar f'waqtu, li jiżgura fluss ta 'produzzjoni bla xkiel.
Proċess ta 'skoperta
Sensers tal-ispostament tal-lejżer Lanbao ikejlu b'mod preċiż l-għoli tal-uċuħ fil-mira billi jarmu raġġ tal-lejżer, jirċievu s-sinjal rifless, u jużaw il-metodu tat-trijangolazzjoni.
Is-senser huwa allinjat vertikalment maż-żona ta 'skoperta taċ-ċippa, li joħroġ kontinwament laser u jirċievi s-sinjal rifless. Matul it-trasport taċ-ċippa, is-senser jista 'jakkwista informazzjoni dwar l-għoli tal-wiċċ f'ħin reali.
Is-senser juża algoritmu intern biex jikkalkula l-valur tal-għoli tal-wiċċ taċ-ċippa mis-sinjal rifless akkwistat. Biex tissodisfa t-talbiet ta 'trasferiment b'veloċità għolja ta' linji ta 'produzzjoni tas-semikondutturi, dan jeħtieġ li s-senser ikollu kemm preċiżjoni għolja kif ukoll frekwenza għolja ta' kampjunar.
Firxa ta 'varjazzjoni ta' għoli permissibbli hija ssettjata, tipikament ± 30 µm mill-għoli tal-linja bażi. Jekk il-valur imkejjel jaqbeż din il-firxa tal-limitu, huwa determinat li huwa anormalità tal-istivar. Din il-loġika ta 'determinazzjoni tal-limitu tista' tiddifferenzja b'mod effettiv bejn ċipep normali ta 'saff wieħed u ċipep f'munzelli.
Meta tiskopri anormalità ta 'stivar, is-senser iqajjem allarm li jinstema' u viżwali, u fl-istess ħin jattiva driegħ robotiku biex tneħħi l-post anormali, jew jieqaf il-linja ta 'produzzjoni biex jipprevjeni aktar deterjorazzjoni tas-sitwazzjoni. Dan il-mekkaniżmu ta 'rispons rapidu jimminimizza t-telf ikkawżat mill-istivar ta' anormalitajiet fl-akbar punt.
Sejbien ta 'preċiżjoni għolja f'ħin reali ta' anormalitajiet fl-istivar ta 'CHIP bl-użu ta' sensuri ta 'spostament bil-lejżer jista' jtejjeb b'mod sinifikanti l-affidabbiltà u r-rendiment ta 'linji ta' produzzjoni tas-semikondutturi. B'avvanzi teknoloġiċi kontinwi, is-sensuri tal-ispostament bil-lejżer se jkollhom rwol saħansitra akbar fil-manifattura tas-semikondutturi, li jipprovdu appoġġ qawwi għall-iżvilupp sostenibbli tal-industrija.
Ħin ta 'wara: 25-2025 ta' Marzu