Производство полупроводников является одной из самых требовательных к точности и технологически сложных областей современной высокотехнологичной промышленности. По мере перехода к 3-нм и даже более мелким размерам кристаллов точность измерения толщины пластины, плоскостности поверхности и размеров микроструктуры напрямую определяет выход годных изделий и производительность кристалла. В этом контексте лазерные датчики смещения, благодаря бесконтактной работе, превосходной точности, быстрому времени отклика и повышенной стабильности, стали незаменимыми «измерительными глазами» на протяжении всего процесса производства полупроводников.
Пластины, являясь основной подложкой для производства полупроводниковых приборов, требуют исключительной точности и надежности в процессе производства. Среди множества критически важных этапов производства пластин точное измерение смещения имеет первостепенное значение, поскольку оно напрямую влияет на производительность и выход готового чипа. Будучи лидером инноваций в китайском секторе промышленных датчиков, лазерные датчики смещения серии PDE от Lansensor, обладающие микронным разрешением, интеллектуальными алгоритмами и надежностью промышленного уровня, стали предпочтительным решением для процессов производства пластин.
Проблемы точности при производстве пластин и преимущества лазерных датчиков смещения
Производство пластин включает в себя ряд сложных процессов, таких как фотолитография, травление, нанесение тонких плёнок и склеивание, каждый из которых требует строжайшей точности на уровне микрометров или даже нанометров. Например:
-
В фотолитографии точное совмещение фотошаблона и пластины имеет решающее значение для обеспечения точного переноса рисунка на поверхность пластины.
-
В процессе осаждения тонких пленок точный контроль толщины пленки имеет решающее значение для обеспечения электрических характеристик устройств.
Даже малейшее отклонение может привести к дефектам продукции или даже сделать целую партию пластин непригодной к использованию.
Традиционные механические методы измерений часто не способны удовлетворить столь высокие требования к точности. Более того, они подвержены риску повреждения или загрязнения хрупкой поверхности пластины, а низкая скорость отклика делает их непригодными для удовлетворения самых современных требований метрологии.
ЛанбаодатчикЛазерные датчики смещения серии PDE: Оптимальное решение для применения в полупроводниковых пластинах
◆Бесконтактное лазерное измерение
Использует проекцию лазерного луча на целевые поверхности, анализирует отраженные/рассеянные сигналы для получения данных о смещении, устраняя физический контакт с пластинами и предотвращая риски механического повреждения и загрязнения.
◆Точность на микронном уровне
Передовые лазерные технологии и алгоритмы обработки сигналов обеспечивают точность измерений и разрешение на уровне микрометров, отвечая высочайшим требованиям точности процессов изготовления пластин.
◆Сверхбыстрый отклик (<10 мс)
Позволяет осуществлять мониторинг динамических изменений производства в режиме реального времени, что позволяет немедленно обнаруживать и корректировать отклонения для повышения эффективности производства.
◆Исключительная совместимость материалов
Способен измерять различные материалы и типы поверхностей, обладает высокой степенью адаптации к окружающей среде, подходит для нескольких стадий процесса производства полупроводников.
◆Компактный промышленный дизайн
Компактный форм-фактор обеспечивает бесшовную интеграцию в автоматизированное оборудование и системы управления, позволяя осуществлять интеллектуальный мониторинг процесса и регулировку в замкнутом контуре.
Сценарии примененияЛазерные датчики смещения серии PDEв обработке пластин
Датчик ЛаньбаоЛазерные датчики смещения серии PDE: критически важные приложения в производстве пластин
Лазерные датчики смещения Lansensor PDE, обладающие исключительной производительностью, играют важнейшую роль в различных процессах изготовления пластин:
◆Выравнивание и позиционирование пластин
Для процессов фотолитографии и склеивания, требующих точности на микронном уровне, наши датчики точно измеряют положение пластины и углы наклона, обеспечивая идеальное совмещение маски с пластиной и позиционирование соединительного рычага, что повышает точность переноса шаблона.
◆Метрология толщины пластин
Возможность бесконтактного измерения толщины с мониторингом в реальном времени во время процессов осаждения, гарантирующая оптимальный контроль качества тонких пленок.
◆Проверка плоскостности пластин
Обнаружение коробления пластины и деформации поверхности с субмикронным разрешением для предотвращения попадания дефектных пластин в последующую обработку.
◆Контроль толщины тонких пленок
Обеспечение отслеживания толщины осаждения в режиме реального времени во время процессов CVD/PVD для поддержания строгих спецификаций электрических характеристик.
◆Обнаружение дефектов поверхности
Выявление аномалий поверхности в микрометровом масштабе (царапины, частицы) с помощью карт смещения высокого разрешения, что значительно повышает показатели обнаружения дефектов.
◆Мониторинг состояния оборудования
Отслеживание перемещений критических компонентов (манипуляторов робота, перемещений платформы) и вибраций машин для прогностического обслуживания и оптимизации устойчивости.
Серия датчиков PDE от Lanbao не только устраняет критически важные технологические пробелы на китайском рынке высокопроизводительных промышленных датчиков, но и устанавливает новые мировые стандарты благодаря своим исключительным характеристикам. Будь то повышение производительности, снижение производственных затрат или ускорение разработки технологических процессов нового поколения, серия PDE станет вашим лучшим оружием в решении задач прецизионного производства полупроводников!
Время публикации: 08 мая 2025 г.