ඉහළ නිරවද්ය සංවේදකය අර්ධ සන්නායක නිරවද්යතාවයට සහාය වේ
ප්රධාන විස්තරය
ලැන්බාවෝගේ අධි නිරවද්ය ලේසර් සංවේදකය සංවේදකය සහ විස්ථාපන සංවේදකය, වර්ණාවලීක්ෂ සංවේදක සංවේදකය, වර්ණාවලි සම්මුති සංවේදක සහ 3D ලේසර් පරිලෝකනය සංවේදක මඟින් අර්ධ සන්නායක කර්මාන්ත සඳහා අභිමතනය සහ විවිධාකාර නිරවද්යකම් මිනුම් විසඳුම් ලබා දිය හැකිය.
යෙදුම් විස්තරය
ලැන්බාවෝගේ විෂන් සංවේදකය, බල සංවේදකය, ෆ්රීසෙක්ට් සංවේදකය, ආසන්නයේ සිතා බැලීම, ප්රදේශීය ආලෝක කර්ටේන් සංවේදකය ලුහුබැඳීම, ස්ථානගත කිරීම, බාධාව වළක්වා ගැනීම සහ සකස් කිරීම සහ සකස් කිරීම වැනි මෙහෙයුම් නිවැරදිව සිදු කිරීම සඳහා අවශ්ය තොරතුරු සැපයීම. ක්රියා.
උපප්රවර්ග
ප්රොපෙක්ටස් හි අන්තර්ගතය
ඡායාරූප ශිල්පී සම්බන්ධකය
ඉහළ නිරවද්ය ලේසර් විස්ථාපන සංවේදකය ස්ථාවර ආලේපන නිරවද්යතාව පවත්වා ගැනීම සඳහා ෆොටෝරිස්ට් ආලේපන උස හඳුනා ගනී.
ඩික් මැෂින්
කපන තලයෙහි thickness ණකම මයික්රෝන දස දහස් ගණනක් පමණක් වන අතර ඉහළ නිරවද්යතාවයේ ලේසර් විස්ථාපන සංවේදක සංවේදකවල නිරවද්යතාව 5 ට ළඟා විය හැකි බැවින්, තලය thickness ණකම මැනිය හැකි අතර එමඟින් තල thickness ණකම මැනිය හැකිය
වේෆර් පරීක්ෂාව
වේෆර් කණ්ඩායම් නිෂ්පාදනය අතරතුර ගුණාත්මකභාවය පරීක්ෂා කිරීම සඳහා වේෆර් පෙනුම පරීක්ෂා කිරීමේ උපකරණ අවශ්ය වේ. මෙම උපකරණ අවධානය ගැලපීම අවබෝධ කර ගැනීම සඳහා ඉහළ නිරවද්ය ලේසර් විස්ථාපන සංවේදක සංවේදක පරීක්ෂා කිරීම මත රඳා පවතී.