உயர் துல்லிய சென்சார் செமிகண்டக்டர் துல்லிய உற்பத்திக்கு உதவுகிறது
முக்கிய விளக்கம்
லான்பாவோவின் உயர் துல்லியமான லேசர் ரேஞ்சிங் சென்சார் மற்றும் டிஸ்ப்ளேஸ்மென்ட் சென்சார், ஸ்பெக்ட்ரல் கன்ஃபோகல் சென்சார் மற்றும் 3டி லேசர் ஸ்கேனிங் சென்சார் ஆகியவை செமிகண்டக்டர் தொழில்துறைக்கான தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகள் மற்றும் பல்வகைப்பட்ட துல்லிய அளவீட்டு தீர்வுகளை வழங்க முடியும்.
விண்ணப்ப விளக்கம்
லான்பாவோவின் விஷன் சென்சார், ஃபோர்ஸ் சென்சார், ஃபோட்டோ எலக்ட்ரிக் சென்சார், ப்ராக்ஸிமிட்டி சென்சார், தடைகளைத் தவிர்ப்பது சென்சார், ஏரியா லைட் கர்டெய்ன் சென்சார் போன்றவை மொபைல் ரோபோக்கள் மற்றும் தொழில்துறை ரோபோக்களுக்கு கண்காணிப்பு, பொருத்துதல், தடைகளைத் தவிர்ப்பது மற்றும் சரிசெய்தல் போன்ற தொடர்புடைய செயல்பாடுகளைச் சரியாகச் செய்வதற்குத் தேவையான தகவல்களை வழங்க முடியும். செயல்கள்.
துணைப்பிரிவுகள்
ப்ராஸ்பெக்டஸின் உள்ளடக்கம்
போட்டோரெசிஸ்ட் கோட்டர்
உயர் துல்லியமான லேசர் இடப்பெயர்ச்சி சென்சார் நிலையான பூச்சு துல்லியத்தை பராமரிக்க ஒளிக்கதிர் பூச்சு உயரத்தைக் கண்டறிகிறது.
டைசிங் இயந்திரம்
கட்டிங் பிளேட்டின் தடிமன் பல்லாயிரக்கணக்கான மைக்ரான்கள் மட்டுமே, மேலும் உயர் துல்லியமான லேசர் டிஸ்ப்ளேஸ்மென்ட் சென்சாரின் கண்டறிதல் துல்லியம் 5um ஐ எட்டும், எனவே 2 சென்சார்களை நேருக்கு நேர் நிறுவுவதன் மூலம் பிளேட்டின் தடிமன் அளவிட முடியும், இது பராமரிப்பு நேரத்தை வெகுவாகக் குறைக்கும்.
வேஃபர் ஆய்வு
செதில் தொகுதி உற்பத்தியின் போது தர ஆய்வுக்கு செதில் தோற்ற ஆய்வு கருவி தேவைப்படுகிறது. இந்த உபகரணமானது ஃபோகஸ் சரிசெய்தலை உணர, உயர் துல்லியமான லேசர் இடப்பெயர்ச்சி சென்சாரின் பார்வை பரிசோதனையை நம்பியுள்ளது.