Cảm biến chính xác cao hỗ trợ sản xuất độ chính xác của chất bán dẫn
Mô tả chính
Cảm biến laser có độ chính xác cao của Lanbao và cảm biến dịch chuyển, cảm biến đồng tiêu quang phổ và cảm biến quét laser 3D có thể cung cấp các dịch vụ tùy chỉnh và các giải pháp đo lường chính xác đa dạng cho ngành công nghiệp bán dẫn.

Mô tả ứng dụng
Cảm biến tầm nhìn của Lanbao, cảm biến lực, cảm biến quang điện, cảm biến gần, cảm biến tránh chướng ngại vật, cảm biến rèm ánh sáng khu vực, v.v. hành động.
Thể loại phụ
Nội dung của bản cáo bạch

Photoresist Coater
Cảm biến dịch chuyển laser chính xác cao phát hiện chiều cao lớp phủ quang để duy trì độ chính xác của lớp phủ ổn định.

Máy thái
Độ dày của lưỡi cắt chỉ là hàng chục micron và độ chính xác phát hiện của cảm biến dịch chuyển laser có độ chính xác cao có thể đạt 5um, do đó độ dày của lưỡi có thể được đo bằng cách lắp đặt 2 cảm biến mặt, có thể làm giảm thời gian bảo trì rất nhiều.

Kiểm tra wafer
Thiết bị kiểm tra xuất hiện wafer là cần thiết để kiểm tra chất lượng trong quá trình sản xuất hàng loạt wafer. Thiết bị này dựa vào việc kiểm tra tầm nhìn của cảm biến dịch chuyển laser có độ chính xác cao để nhận ra sự điều chỉnh lấy nét.